惰性气体分子是由单原子构成的。除氦外，其他元素的原子，最外电子层都有八个电子（氦是二个），具有稳定的结构。过去，人们认为惰性气体根本不可能跟其他物质发生化学反应生成化合物。事实上，并非所有惰性气体都是这样。1962年，英国化学家巴特利特（Bartlett）通过实验，得到了惰性气体的第一个化合物六氟铂酸氙（XePtF6）。
以后，人们又制得了氙跟氟或氧的化合物，如二氟化氙（XeF2）。此外，还得到了氪跟氟的化合物四氟化氪（KrF4）等等。但到现在为止，人们还没有制得氖和氦的化合物。鉴于惰性气体的“惰性”只是相对而言的，又因为它们在自然界储量极少，所以，1991年，全国自然科学名词审定委员会公布的《化学名词》中正式规定，把惰性气体改称为稀有气体。
